La instrumentación es para los instrumentos de medición utilizados para indicar, medir y registrar cantidades físicas. La instrumentación incluye: elipsómetros; microscopios electrónicos de barrido, electrónicos de transmisión, ópticos y electrónicos de barrido ambientales; sistemas de haz de iones enfocados; sistemas químicos y físicos de deposición de vapor.
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